Gravure Face Avant Gratuit: Bavette Garde Boue Remorque Leclerc
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Gravure Face Avant Chat
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Pour graver les canaux microfluidiques, un appareil de gravure Alcatel A601 est utilis´e (fi- gure 2. 6). La gravure utilis´ee est bas´ee sur le proc´ed´e DRIE (Deep Reactive Ion Etching). Ce choix a ´et´e fait pour avoir des microcanaux rectangulaires avec des flancs verticaux. Gravure face avant chat. Un profilom`etre alphastep est utilis´e pour contrˆoler et mesurer la profondeur h des micro- canaux. Plusieurs dispositifs avec diff´erentes profondeurs (h = 8, 14, 23, 35, 46 et 72 ➭m) des microcanaux ont ´et´e r´ealis´es. – Principe de la DRIE: Ce proc´ed´e a ´et´e mis au point par la soci´et´e Robert Bosch Corporation en 1995. Il implique la r´ep´etition cyclique de deux ´etapes. La premi`ere ´etape est bas´ee sur une gravure chimique ou ionique par l'interm´ediaire d'un gaz (SF6), alors que la deuxi`eme ´etape consiste `a passiver les flancs par l'utilisation d'un polym`ere `a l'aide d'un gaz (C4F8). Apr`es le court plasma SF6, le gaz C4F8d´epose une couche de t´eflon sur les flancs et sur le fond de la zone pr´ec´edemment grav´ee.
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